隋开皇九年（589年），隋军平定岭南，废始兴郡，改为东衡州，不久又改为韶州。隋开皇十一年（591年），废韶州，所辖曲江、梁化、平石、始兴、大庾、须阳6县并属广州。隋仁寿元年（601年），改广州为番州，属番州。隋大业三年（607年），改番州为南海郡，属南海郡。
唐武德四年（621年），于原韶州境置番州，不久更名东衡州，领曲江、始兴、乐昌、翁源、临泷、良化6县。唐贞观中期（627年~633年），东衡州复名韶州。
五代后梁乾化元年（911年），韶州领6个县。
元末，设置为韶州路、南雄路2个路，属广东道。
明洪武元年（1368年），改韶州路为韶州府，领曲江、乐昌、仁化、乳源4县；改南雄路为南雄府，领保昌、始兴2县。
清沿明制，韶州府的建置一直不变，南雄府降为直隶州。
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